香港明報

作者: quiprat (小紫) 看板: Tech_Job
標題: [新聞] 新竹強震 晶圓破片
時間: Fri Jun 15 01:20:42 2012

工商時報【記者王志煌、楊曉芳╱新竹報導】

新竹縣尖石鄉昨（13）日二度發生芮氏規模逾4級地震，一度驚傳晶圓雙雄台積電、聯電
位於竹科園區內產線發生破片狀況，據了解，影響程度尚在調查中，並未波及廠商的正常
營運。

昨下午4時22分新竹發生芮氏規模4.9級地震、晚間10點41分發生芮氏4.4級地震，竹科廠
區內也有2~4級不等震度，台積電、聯電官方發言管道回應指出，並無發生破片狀況，晶
圓生產線尚未造成影響。

不過，晶圓廠高層指出，震度3以上的地震即可造成破片影響，其中最高機率發生在運送
過程中，而設備生產過程中則依固定方式不同，12吋廠晶圓的固定方式，較8吋晶圓來得
穩定。上一回蘇澳地震時，晶圓有破片情形，這一次也不例外，有的爐管也出現裂痕。

竹科管理局副局長杜啟祥表示，有911大地震慘痛經驗，竹科廠商、尤其是半導體廠，在
震度達到5級的時候，生產線機台就會自動關機，而這次的地震雖然震央在新竹縣尖石鄉
，但新竹市和竹科僅3級左右，對於特別加強防震設施的竹科廠商並未造成太大影響。

杜啟祥指出，地震發生後，竹科園區內供水、供電都正常，科管局方面也未接獲廠商任何
因地震造成的損害通報。

911大地震時，竹科受創最重就是半導體廠，不僅造成多家半導體製造廠生產線爐管破裂
，高價機台更得花費高達數億元進行校正。更嚴重的是，台灣不僅是全球晶圓代工重心，
當時的DRAM市占率也有一定地位，因為911大地震造成半導體廠停工，全球半導體產業供
應鏈也嚴重失衡。

有了911大地震的慘痛教訓，竹科廠商在蓋廠時都會加強建築物的防震能力，尤其以晶圓
廠及面板廠更為謹慎，防震度至少都做到6、7級的水準。近幾年台灣偶有地震發生，一方
面新竹地區的震度不高，同時也因廠商的防震措施做得好，竹科自911大地震以來，尚未
因地震造成損失。

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